國內雙頻激光干涉儀 診斷校準導軌運動精度

SJ6000國內雙頻激光干涉儀具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。

功能模塊

SJ6000國內雙頻激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。

線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺

測量機床直線度

測量機床回轉軸精度

測量機床偏擺角度

SJ6000激光干涉儀以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。還可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

其動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等。內置國內外通用的標準，如國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

技術指標

配件與證書

配件

證書

SJ6000國內雙頻激光干涉儀采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。